全球首發Vistara™晶圓製造平台 靈活智慧化運用解決晶片產業困境

在科技迅速進化的世界裡，半導體產業一直面臨不同的困境，像疫情中就面對全球晶片短缺的問題，可到了2022年時全球經濟開始回溫，反而導致晶片庫存過多，同時還要面對半導體製程中的複雜性、成本、節奏，以及現今必須面對的碳排放問題。而應用材料公司日前（7月18日）就推出了最新的Vistara™晶圓製造平台，以提供晶片製造商創新、可靠和生產力的強大工具，同時顧慮到靈活性、智慧功能及永續性，解決日趨複雜的先進晶片製造挑戰。

Vistara™晶圓製造平台就像樂高一樣能作客製化組裝，可支援各種不同的反應室類型、尺寸和配置，以前所未見的整合型材料解決方案 IMS™ (Integrated Materials Solution®) 配方，在真空環境下，於同一系統中完成多個連續的晶圓生產製程步驟，協助晶片製造商開發創新的電晶體、記憶體和佈線，大幅提升功率、效能，防止影響良率的微粒和缺陷。而且也能靈活適應各種生產需求，可配置4或6個晶圓批次裝載埠，並以最少4個、最多12個製程反應室處理各種不同的工作負載，讓廠商能自由組合以提高靈活性。

再者，Vistara™晶圓製造平台就像是一個智能助理，內建大量的感測器，能將數據傳送到應用材料的AIx™軟體平台。藉由數據就能提供建議，讓製程更有效率，工程師能運用機器學習和人工智慧的強大功能，加速開發製程配方，實現最佳的晶片效能、功率和最大的製程容許範圍，以提升效益，務求加速上市時間、最大化產能及產量，推動半導體技術向前邁進，以及解決目前半導體產能不足之問題。

同時，為了滿足全球的永續環境目標，Vistara™晶圓製造平台更是致力於永續發展的先鋒。其為第一個專為達成永續目標、推進應材「3×30」倡議而設計的晶圓製造平台，能大幅降低晶圓廠的能源、化學品和建築材料的消耗，減少50％以上能源消耗量。另外在泵浦、熱交換器和冷卻系統中，也降低達35％之功耗，協助晶片製造商減少碳排放，以符合日趨嚴格的環保標準，減少對環境的影響，達到環境永續的目標。同時應用材料公司的EcoTwin™軟體更是Vistara平台的良伴，協助工程師監控製程中的能源和化學品消耗，確保整個製程的綠色永續。

Vistara™晶圓製造平台已開始為全球領先的記憶體客戶服務，目前第一批Vistara™晶圓製造平台，已交付給所有記憶體領導大廠，用於蝕刻應用。期待在未來的日子裡，它能以其出色的「多功能性」、「智慧化」和「綠色」特性，為晶圓製造業帶來更多創新與突破。

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參考資料：
1.應用材料公司推出全新的Vistara™晶圓製造平台，協助客戶解決晶片製造的挑戰。Applied Materials